第120章 先进光刻机数据？你确定你没有算错(第5/7 页)
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“这显然是气浮面……气浮支撑问题，用在哪里的呢？”孙博一边瞅着运算的数据，一边喃喃自语：
“还有这和运动问题的结合……这个数据这是侧面气模推动力？”
……
数据越来越明显，孙博脑子里也是大胆的出现了一个想法，这难道是：【光刻机双工件台系统的数学模型？】
孙博是科学院自动化所的，光刻机这方面虽然不是他的主要方向，但科学院长机所和沪上微电子一直有紧密的合作，相关的东西他甚至还有所参与。
一旦有所怀疑，数据验证那就变得十分简单了。
“这个是压力边界参数、速度边界参数……”
“这个是宏动台的地面和侧面气模面面积……”
“这个是阻尼系数……力矩平衡方程……”
……
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