第121章 天还没亮,院士直接杀到孙博家!(第6/7 页)
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“但是,你知道为什么,沪上微电子的三台28n光刻机验证机一直在验证,还没有办法向晶圆厂批量交付吗?”
“啊?”孙博懵了,“啊”了一声,心道:这我哪儿知道这个啊,我只会数学啊,要不要你给我一批数据,我给你们算算,兴许能算出来点儿什么,你这干问,我上哪儿知道去。
“算了,我给你说这些干什么!”刘院士摆了摆手:“你只需要知道,你这个精度数据,它怎么也说不上先进。”
不先进你来干什么,孙博很想问一句,但是他没有吱声,知道刘院士必有下文,果不其然,他的“但是”立即就来了:
“但是,虽然数据不先进,但是理论先进,而且这个模型根本就不是先进所能解释的了,我其实也没完全看明白。
“但我敢保证:如果能利用起来,不说euv光刻机,至少1980di这个级别的,我们立即就能实现量产!
“这就已经能解决很多问题了,华为现在的高端制程芯片就是用这个级别的光刻机通过4重6重套刻实现的——至少,产能这一块儿不再需要担心了!
“理论这么先进,那为什么我说它的数据不先进呢?是因为硬件设备太落后!”里边的很多数据刘院士一眼看起来就很熟悉:
“学校的教学实验室一直用的光刻机产生的数据就这些,我用了很多年啊,虽然看起来有些变化,但那个规律,别说些许变化,烧成灰我也认得出来!
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