第123章 科学院光电所光刻机存在的致命问题(第6/7 页)
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“这是真的，而且超分辨率光刻技术，是没有技术壁垒的，不涉及其他任何家的专利……”
“好了，你说‘但是’吧！”纪弘说道。
“但是……”孙博自己也笑了：“现在还只应用在科研领域。”
“为什么，不能量产？”
“量产是没有问题的，但是，超分辨率光刻机聚焦面积小，几乎是接触式光刻，而且是直写式的。缺点很致命，这你明白吧？”
纪弘很想说，我明白个嘚儿我明白，我不研究这个：“说清楚一些，具体是哪方面的问题。”
孙博这才想起，纪弘好像是土木专业，自学的编程和ai，光刻机他可能还真不太懂，于是解释道：
“做周期的线、点、光栅部件，举个简单的例子：我们就画两条线，这台光刻机是能实现单次线宽22n的，如果图形复杂了，那就不行，做不了。”
这么一说，纪弘明白了。
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