第132章 十倍精度光刻(第1/9 页)
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纪弘也很头疼,产能怎么挤?巧妇也难为无米之炊!
最关键的自然不是零部件这种东西,而是光刻机。
不说别的,在限制一次又一次的加码之后,国内现在能够进口的最先进的光刻机是1980di,曝光精度是38n的那款。
主要用于28n、14n制程,多重曝光的情况下,也能制造7n芯片。
更高级别的已经完全不能出货了。
哪怕是1980di,现在要买也只有理论上的可能。现有的都是存量,都是有数的——华为的先进工艺,就是用这款光刻机采用多重曝光工艺生产的。
等效5n,算是把这台光刻机压榨到了极限。
而国内生产已经投入商用的光刻机,是分辨率90n的沪上微电子的ssa600/20。