第132章 十倍精度光刻(第5/9 页)
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于东听到22n的时候,内心还一笑,这也不高嘛。
但是随即反应过来,当即惊呼道:“多少?”
这他么是220n的光刻机啊,搞我玩儿呢吧,而且这玩意儿用的是i线365n的光源啊!
华为利用saqp技术实现4倍精度的光刻,这其中有多困难,只有做过才知道。
而且良率从几乎没法看到现在的渐渐提高,也经历了非常漫长的时间——说白了,这玩意是实在没办法了才去搞的。
如果国内有euv,何至于费这么大的劲!
“10倍精度!22n!”杨工程师确认道。
“你们用的什么方法?”于东没有怀疑杨工骗他,这东西就在这儿,骗他没有任何意义,纪弘想跟他谈什么,也不差这一点筹码。
“最简单的方法。”杨工程师也是认真的回复道:“就是把需要光刻的图分到多个掩膜版上,然后一遍一遍的重复光刻-刻蚀-光刻-刻蚀……就这样。”
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