第146章 高端产线升级的效果，重构光刻机系(第1/12 页)

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这条产线是一条十二寸的中型产线，有8台光刻机，型号是阿斯麦1980di，但应该已经经过了一轮的魔改。

另外离子注入机10台、刻蚀机40台，还有研磨机、电子电压监测设备等等一系列的设备。

纪弘一边参观一边了解着情况，同时，产线这边的负责人还给他送来了产线以及产线设备的相关技术资料——这些资料与原版已经有所不同，尤其是光刻机，经过了很大程度的魔改。

产能方面，以成熟产线的14n工艺计，这条产线月产晶圆大约为一万片，以一般芯片的面积计，一片晶圆大约切割良品芯片约五六十，也就是说，这条产线月芯片产量大约在五六十万左右。

但麒麟9000s用saqp四重曝光技术，效率大约要下降30，再加上良率受到的影响，实际产能可能只剩下一半，也就是大约二三十万片。

……

改造产线，纪弘没打算从硬件入手，这里的情况和宏图微电子的情况还不同，那里的硬件设备确实落后，一些自动化和智能化的模块不够用才需要重新设计和改造。

但这里，本就是先进制程工艺产线，尤其是华为和中芯的工程师已经还已经对它进行过改造，硬件设备已经完全能够满足智能化的需要了。

对产线的优化，纪弘不懂，即便懂，也不可能比得上先后在ad、台积电、三星，现在是中芯国际联席ceo的梁松。