第147章 鼎佳收购完成，光刻机的谋划(第6/7 页)
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“你们重构了阿斯麦光刻机的整机控制系统？”
“嗯。”
“这……”得到了纪弘肯定回答的刘向东院士彻底惊了——这是什么概念？别人不知道他还能不清楚吗？
光刻机的硬件系统虽然复杂，但是一项项掰开来，其实还是能突破的。
不说28n，就算是euv光刻机，大部分的技术，国内都已经实现了相关的突破。
之所以光刻机的研发一直不成功，主要就是零部件太多了，一台euv，大小零件几十万个。
这零部件一多，控制系统就会变得非常复杂，哪怕是极小的误差，在这种放大效应下，也会变得非常棘手。
这也是光刻机整机控制系统被称为光刻机的灵魂和大脑的原因之一。
纪弘重构了光刻机的整机控制系统，比原厂控制的都要好！
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