第122章微观世界(第3/8 页)
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而随即，一个新的问题萦绕在他们的心间，如此复杂且精密的机器，究竟是做什么用的?
很快，天幕给出了答案。
【euv光，刻，机可以产生135纳米波长的光，比duv光，刻，机短了14倍，因此，它可以用来做成更小的晶体管。】
【我们先来简单了解一下euv光，刻，机的工作原理。】
【首先它需要的极紫外光在自然界中并不存在，所以需要人工制造这种光源，这也是euv光，刻，机中最难的步骤。】
【简单来说就是需要用20千瓦的激光从三层楼的高度，照射真空环境中的液态锡珠，这些锡珠的直径只有头发丝的三分之一，并一直处于自由下落的状态。】
【激光脉冲需要以每秒5万次的频率去轰击这些锡珠，让它们瞬间气化蒸发成等离子体。】
【这些等离子体发出的极紫外光进入到聚光镜中被采集。】
【光学系统通过多个反射镜和反射式光学元件，将135纳米的极紫外光束聚焦到掩膜上。】
【掩膜上的芯片通过光学系统的投影功能，被投射到涂有光刻胶的硅片上。】
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