第245章 牛逼的铁人三项(第3/5 页)
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目标一：深紫外光光刻机用显微镜镜头改进研发，针对新改进的光刻机光源对镀膜进行新的调整。
步骤：对镀膜所需材料进行细微调整，对蒸馏设备和高压电子枪的参数设定进行动态调整，使其满足新的光源属性，对精度进行进一步的优化调整。
目标二：极紫外光光刻机用显微镜镜头理论验证和制造研发。
理论步骤，第一步,光源产生短脉冲激光光束作为种子光，使其多级放大并产生预脉冲和主脉冲。
预脉冲首先击中锡珠，使它变成正确的形状，随后主脉冲将压扁的锡珠转化为等离子体，从而发射出满足条件的euv光。
euv光刻步骤：
1）激光脉冲被放大到非常高的功率，输出超过30kw平均脉冲功率的激光。
2）不断滴下的锡珠被激光束击中成为一个发光的等离子体，发射出波长为指定数值的的euv光。
3）极紫外光聚焦后，通过反射透镜首先传输到光刻掩模上，然后照射到晶圆基片上。
技术难点：
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